本多電子の高周波超音波洗浄機 | 特注・カスタマイズにも柔軟に対応
幅広いラインナップと特注対応で、メガソニック洗浄のニーズに対応
本多電子は、自社開発の圧電セラミックス素子を活用した高周波超音波洗浄機を通じて、半導体製造現場の多様なニーズに応えます。
流水式、石英振動体型、バッチ式の3方式をラインナップし、MHz帯の高周波洗浄でウェーハやフォトマスクの微細な汚れを除去。装置サイズや材質、周波数のカスタマイズにも柔軟に対応し、大手メーカーからも高い信頼を得ています。
目次
本多電子が選ばれる理由
素子からの自社開発
本多電子は、超音波の核となる圧電セラミックス（素子・振動子）を粉末から自社開発・生産しています。これにより、他社にはない開発スピードや柔軟なカスタマイズ、そしてコストメリットを実現し、お客様の多様なニーズに高精度で応えます。
選べるラインナップ
半導体洗浄の多様な要求に応えるため、流水式、石英振動体型、バッチ式の3つの高周波洗浄方式をラインナップしています。各方式で幅広い周波数帯に対応し、汚れの種類や洗浄対象物に応じた最適なソリューションを提供します。
特注・カスタマイズ対応
装置サイズや洗浄槽の形状、多様な薬液の種類に対応した材質変更、周波数、ワット数など、幅広い特注・カスタマイズを柔軟に承ります。図面管理も徹底し、大手半導体メーカー様からも信頼をいただいています。
流水式超音波洗浄機
流水式は、ノズルから放射される液流に超音波を重畳させ、ワークを回転させながら洗浄する方式です。1枚ずつ洗浄するため、汚れの再付着がなく、最先端の半導体製造工程におけるダメージと残渣の懸念を解消します。
周波数と用途例
流水式は発振器と振動子ノズルで構成されています。標準ラインナップは400kHzから3MHzまで揃え、特注では5MHzまで対応実績があります。高周波は微細な汚れ除去に優れ、ダメージを抑制するため、最先端のウェーハやハードディスク洗浄、CMP後の洗浄などで広く採用されています。
カスタム対応
様々な薬液に対応するため、ノズルやパッキン、振動板などの材質変更を柔軟に承ります。お客様の装置の限られたスペースに合わせた形状変更や、接続位置の調整など、多様なカスタマイズ要望にきめ細かく対応可能です。
石英振動体型超音波洗浄機
本多電子の石英振動体型は特許を取得した独自の形状を採用。ワークを液面にわずかに浮かせて石英ガラスに振動を与え、超音波で洗浄します。照射面積が広く低ワット数で優しく洗浄できるため、最先端のウェーハやフォトマスクなど、ダメージを許容しない精密洗浄に最適です。
周波数と用途例
石英振動体型は発振器と振動体ノズルで構成されています。標準ラインナップは1MHzから3MHzですが、特注対応で4MHz、5MHzの実績があり、6MHzも開発中です。回路パターンが微細化する最先端の半導体洗浄において、パターン倒れなどのダメージを抑制しつつ、微細な汚れを除去します。
| 対応周波数 |
1MHz 2MHz 3MHz ※特注にて 4MHz 5MHz 実績有 |
|---|---|
| 用途 |
|
カスタム対応
洗浄対象物の形状やワット数に加え、薬液の特性や高温使用に対応した材質（石英ガラス等）の変更も可能です。自社開発の素子技術と接着技術により、他社が対応しにくいような厳しい条件のカスタマイズにも応えます。
バッチ式超音波洗浄機
ワークを水槽に入れ、複数枚を一括で洗浄する方式です。特にレガシーノードの半導体洗浄で多く採用されており、高い洗浄性能を確保しながら、導入・運用コストを抑えられる点が特長です。
周波数と用途例
1MHzの超音波洗浄でサブミクロンのパーティクルを除去します。一度に多くのウェーハを洗浄できるため時間短縮につながり、レガシーノード半導体やフォトマスクの洗浄に主に用いられます。大量処理が必要な工程で高いパフォーマンスを発揮します。
| 対応周波数 | 1MHz |
|---|---|
| 用途 |
|
カスタム対応
バッチ式では、発振器と振動子ユニットを組み合わせて使用します。振動子は槽タイプまたは振動板タイプから選択します。ご要望に応じて、特注振動子ユニットの製作も承ります。お客様のご指定の洗浄槽のサイズに合わせて、素子サイズを変更することも可能です。
導入をご検討の方へ
貸出機サービスについて
製品をご検討いただく際の評価用として、無料※でお試しいただける貸出機サービスをご用意しております。機種選定にお悩みの場合でも、お申込み時にご相談いただければ、スタッフが最適な機種をご提案します。まずはこちらからお気軽にお申し込みください。
※貸出機ご返送時の送料はお客様のご負担となります
超音波科学館のご案内
本社（愛知県豊橋市）には「超音波科学館」が併設されており、洗浄機などの製品を実際に見て、触れて、体験していただけます。見学の際はスタッフがご案内いたしますので、ご不明な点がございましたら、どうぞお気軽にお声がけください。
本多電子株式会社について
本多電子は1956年創業以来、「超音波」技術に特化し、事業を展開してきました。産業機器、メディカル、マリン、そして超音波デバイス事業部があり、超音波洗浄機をはじめ、カッター、溶着器、魚群探知機、医療診断装置など幅広い製品を提供しています。
企業情報
| 本社・工場 | 〒441-3193愛知県豊橋市大岩町小山塚20番地 |
|---|---|
| 営業所 |
■東京営業所 ■大阪営業所 |
| 認証 | 品質ISO9001 医療ISO13485 環境ISO14001 |
| 創業年月 | 1956年10月 |
| 設立年月 | 1960年06月 |
| URL | https://www.honda-el.co.jp/ |